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讨论具体的技术细节吧你们的位子让你们的技术员填补。我们两边分开讨论，互不干扰。”

“郭院长有令，我一定坚决执行。”

洪涛开了个小玩笑，然后他也站起来对坐在旁听席的张东方说：“张东方，你来代替我坐这里开会。”

“哈哈”在座的人都发出了善意的笑声，手上也没有闲着，其它几位也找了人代替自己。只有郭东的手下例外，他没有坐郭东的位子，而是坐到会议桌离主席位最远的位子。他有自知之明，知道那个位子不是他坐的。

物理研究所的所长叫王卫红，凭他的名字，一看就知道是60年代出生的人。他是后来沈丹青对研究所的改革，而竞选成功的。说实话，他的资历是在座的负责人当中是最低的。但他初生牛犊不怕虎，否则也不可能竞选成功。他等郭东他们几位走后，就转到主席位坐定说道：“虽然我知道我资历最浅，但事情总得有个挑头的，大家又没有反对，我就厚颜当这个组长了。”

“啪啪啪”这时，会议桌上的人开始有人给他鼓掌了，都是刚刚代替的人，他们不是一个级别，因此没有人觉得不妥，反而觉得他很有魄力。

离子注入机研制组的人虽然不太齐心，但总算是开了一个头。另一边的郭东几人来到郭东他的办公室后，郭东请他们落坐，然后亲自为他们泡了茶。

“郭院长，客气啦客气啦还劳你亲自泡茶。”

王波接过郭东的茶，嘴上客气道。

“这不是应该的吗难道我去你那里你还不给我泡茶。”

郭东也客气的回应。

卢汝成和洪涛则大大咧咧，就像理所当然的一样接过茶就喝，他们在一起共事几年了，早就没有了生疏感。只有光学研究所的胡所长比较拘谨，他也是新竞选上来的，而其他几位则是老板亲自提拔的，因此他自认身份比他们低一头。

“嗯”郭东哼了一声，就开始讲话了：

“光刻机据我的了解，我们已经将前期的技术难点已经解决了，在别人看来很难的问题，我们就只要组装了，唯一麻烦的是后期的实验数据采集，但没有难度了，只是要花时间。”

讲到这里，他就问卢汝成：“卢总，数控部分，你们能解决吧”

“没问题，这个数控系统比数控机床简单多了，只有几个直线动和机械臂的输送动的协调，我们几天就可以解决，只是数据采集要花点时间，我打算要学员们干，让他们历练历练。”

卢汝成表示很简单，他还打算只要学员们干，当然他们得把关。

“那就好，你们没问题，就真的没问题了。我先和大伙说说我对光刻机的设想，据我所知，光刻机根据曝光方法的不同分为：接触式、非接触式和聚焦式三种。

接触式是以前的老方法，缺点太大，我就不讲了。聚焦式虽然更先进，但难度也最大，我们目前还没有这个需要，可以做为以后的研究课题。为了赶时间，我打算这次就采取非接触式，符合我们目前的制程工艺，最高精度可以达到二十纳米以内，目前来讲完全足够了。相反，我们的芯片设计还没赶上来，这次就只试制十六位元的芯片，精度只要达到u米级就够了，洪所长你们扯后腿了啊”

郭东又开了洪涛的玩笑，不过这却是实情。洪涛也很无奈，芯片设计很复杂，需要大量的熟练人手。跟老板说得一样，要设计纳米级芯片，至少得有几千熟练电子工程师，否则想都不要想。

想到这些，洪涛接过话头说道：“目前我们只能设计一些简单的芯片，连32位元的芯片都要花大量时间才行，至少一年计，我们的熟练人手太少了，实在没办法。老板也知道我们是短板，因此我还被老板批过。唉”

“好啦既然老板已经批评了，我们就不批评你了。”

郭东又小小的开了一记玩笑，然后正式说道：“非接触式光刻的技术要点就是激光头、掩模板还有基片要无限接近，最好只相差几个纳米，这样才能保证最大的精度。这是属于一种1:1投影技术或者说光刻技术，对掩模板的制要求非常高，卢总，能不能将设计图进行电子图缩小而不是光学缩小”

“理论上是可以的，我们尽量想办法，也就是说我们根本不搞纸质图纸了，直接用电子图纸投影曝光”涉及到他的专业，卢汝成想也没想就回答了。

这时洪涛也获得了灵感，因此接过了话头说道：“我打算采用液晶投影技术，液晶是一种分子级别的化合物，只要我们技术足够，那么控制精度可以无限小，我相信它能够很好的解决1:1电子图形缩小问题。我们就不走国外那套老路了，那样太复杂，而且精度不够。”

“也只有你才知道国外是怎么搞的，我们从来都是自己搞自己的，不也很好吗只要我们达到了目的就够了。”

这时王波也插话说道，他对国外是怎么搞的是真不懂，他的话没有半句水份。

“洪所长这个主意很好，这样电子图形缩小就没问题了。”

卢汝成对洪涛的办法不由拍案叫绝。

“这样我们是不是可以取消掩模板呢”

郭东提出了一个大胆的设想。

“当然不行，液不能代替掩模板，因为液晶屏是通过光的偏振原理，来实现图像显示的。它根本就不可能实现，高精度光刻，不过我们可以试一试，让液晶屏代替光刻机，给掩模板显影电子图形，如果能够做到，也是一种了不得的进步，能节省很多步骤。

不过我们必须研究出一种，对光非常敏感的光刻胶。在化学蚀刻的时候，又能有效的保护未被光照的镀铬层。”

“王所长，这点你们能解决吧”洪涛先给郭东解释了液晶原理，然后又问王波道。

“没问题。自从研究光刻胶以来，我们已经研究出多种光刻胶了。都是分别针对不同的物质，给掩模板用的光刻胶，我们已经研究出来了。效果怎么样要试试才知道。”

王波给予了肯定的回答。